一种电容薄膜加工用蒸镀设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种电容薄膜加工用蒸镀设备，包括蒸镀设备主体、清理机构与限位机构，所述清理机构包括玻璃钟罩，所述玻璃钟罩处于蒸镀设备主体顶端一侧，所述蒸镀设备主体顶端表面设置有固定环，所述玻璃钟罩底端表面设置有固定圈，所述固定圈处于固定环顶端表面一侧，所述固定圈顶端一侧设置有压块，所述固定环一端开设有孔洞，且所述压块一端贯穿于孔洞内侧，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设计了清理机构，能够便捷地将玻璃钟罩进行拆卸与安装，及时将玻璃钟罩进行清理干净，避免玻璃钟罩内部长时间不清理产生结垢现象，通过第一卡槽内壁设计了密封圈，在凸块卡入密封圈内部时，能够提高密封性。
基本信息
专利标题 ：
一种电容薄膜加工用蒸镀设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922295688.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211339670U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
徐明强陈文亮张勇
申请人 ：
南通百正电子新材料股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市如皋市如城镇茶庵路69号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
严志平
优先权 ：
CN201922295688.1
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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