一种薄膜蒸镀设备载板
授权
摘要
本实用新型公开了一种薄膜蒸镀设备载板，包括基板，基板内设置有夹层，夹层内设置有真空绝热板，真空绝热板均匀铺设在夹层内且与夹层内壁固定连接，基板内设置有环绕层，环绕层位于基板和夹层之间，环绕层内设置有石墨板，石墨板的外表面与环绕层的内壁固定连接，石墨板与真空绝热板之间设置有通孔，通孔设置有多个，多个通孔之间均设置有间距，多个通孔均呈圆柱形结构设置，且多个通孔直径均相一致，多个通孔的两端均与相对应的石墨板和真空绝热板相连通，与基板相匹配的设置有清理装置，清理装置包括承接板、挡板。本实用新型具有预热能力强，使用完成后方便清理的有益效果，其主要用于薄膜蒸镀。
基本信息
专利标题 ：
一种薄膜蒸镀设备载板
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921966421.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-14
授权号 ：
CN211036091U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
钱万勇
申请人 ：
苏州三原流体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区浒青路156号
代理机构 ：
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周超
优先权 ：
CN201921966421.4
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
