一种薄膜蒸镀设备冷却回路装置

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摘要

本实用新型公开了一种薄膜蒸镀设备冷却回路装置，包括箱体，箱体底部设置有进气口，进气口与薄膜蒸镀设备连接，箱体设置有夹层，夹层内缠绕连接有制冷管，箱体内设置有穿流板，穿流板设置有多个，多个穿流板均与箱体内壁卡扣连接，多个穿流板上均设置有过气孔，过气孔均匀排列在相匹配的穿流板上，箱体顶部与进气口相对应处设置有出气口，出气口上设置有单向气阀，箱体外表面上设置有保温层，保温层与箱体外表面固定连接，箱体一侧设置有空气压缩机，空气压缩机与制冷管连接。本实用新型具有方便对油蒸汽分离出的油进行处理，方便操作的有益效果，其主要用于冷却。

基本信息

专利标题：

一种薄膜蒸镀设备冷却回路装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921967482.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-14

授权号：

CN211005583U

授权日：

2020-07-14

发明人：

钱万勇

申请人：

苏州三原流体科技有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区浒青路156号

代理机构：

北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

周超

优先权：

CN201921967482.2

主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

C23C14/24