一种掩模版清洗花篮
授权
摘要
本实用新型涉及一种掩模版清洗花篮，属于掩模生产技术领域。该花篮包括框体、支撑杆、圆柱形螺帽，所述框体包括两块对称的固定面板和两块对称的侧板，所述每块固定面板上开有台阶通孔，用于固定安装四根支撑杆；所述支撑杆上有多个卡槽，将相应的掩模版插入所述卡槽内；所述圆柱形螺帽用于把支撑杆锁紧在固定面板上，且可以通过改变圆柱形螺帽在固定面板上不同位置的台阶通孔，从而来改变装载不同尺寸的掩模版，实现一花篮清洗不同尺寸的掩模版，从而为生产节省成本，提供产线生产效益。
基本信息
专利标题 ：
一种掩模版清洗花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922306702.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-16
授权号 ：
CN211350598U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
顾梦星朱磊张月圆陈青
申请人 ：
无锡中微掩模电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新区菱湖大道202号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922306702.3
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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