一种PFA清洗花篮
授权
摘要
本实用新型属于半导体晶片清洗装置技术领域，具体为一种PFA清洗花篮，包括第一侧板、第二侧板、以及设置在第一侧板和第二侧板之间的第一槽齿板和第二槽齿板，第一槽齿板包括第一竖直部、倾斜部和第二竖直部，第一竖直部和倾斜部上设有若干等间距的容置槽，第一竖直部和倾斜部的连接处设有横筋，第一竖直部外侧面的中间部位设有八字形连接骨，八字形连接骨位于容置槽内，相邻两个八字形连接骨交错设置，形成上下两排八字形连接骨。本实用新型解决了现有花篮强度低，易破碎的问题，而且通过在结构上进行改进，使得液体在清洗空间内的流动性更好，通风性更好，达到较好的清洗半导体的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种PFA清洗花篮
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921849218.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-29
授权号 ：
CN210640198U
授权日 ：
2020-05-29
发明人 ：
袁黔云
申请人 ：
深圳市迈捷微科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝龙工业区翠宝路30号鸿邦科技园二栋二楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921849218.9
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-05-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
