本实用新型涉及溅射靶材软夹持装置，包括台架、软夹持部和顶紧部，软夹持部包括设置在台架上的圆柱形壳体、设置在壳体侧壁上的齿轮孔、插入齿轮孔内的旋转把手、通过转向齿轮与旋转把手的输出端对应的齿轮盘、周向设置在齿轮盘上并与齿轮盘啮合的若干凸齿、与凸齿连接的工字型凸体、设置在工字型凸体底部的凹槽、嵌合在凹槽内的突起、设置在突起上的柔性部件，柔性部件朝向齿轮盘的中心轴处设有弧形端口，齿轮盘、凸齿、凹槽、突起均设置在壳体内，柔性部件设置在壳体外端；顶紧部包括驱动电机、丝杆、锥形顶尖。本装置可有效降低夹持作业中对溅射靶材造成的伤害，提高成品合格率，降低生产成本，提高企业经济效益。