一种激光传输微型芯片装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种激光传输微型芯片装置，用于高效传输微型芯片。该装置主要包括运动控制系统、激光器脉冲系统和机器视觉系统。其中，运动控制系统由三个电动位移平台组成，用于精确控制样品台的三维运动；激光器系统使用一个低功率、低成本的商业激光器，用于烧蚀热敏胶带释放微型芯片；机器视觉系统由两个CCD相机组成，用于定位微型芯片距离激光器焦点的相对位置和观测芯片脱离过程。该装置结构简单、传输效率高、装置成本低，适用于微型芯片和易碎微器件的精确传输。
基本信息
专利标题 ：
一种激光传输微型芯片装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922307148.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN210692508U
授权日 ：
2020-06-05
发明人 ：
常博覃兴蒙宋龙刚周权
申请人 ：
陕西科技大学
申请人地址 ：
陕西省西安市未央区大学园
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
马贵香
优先权 ：
CN201922307148.0
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-06-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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