本实用新型公开了一种刻蚀用圆片转移夹具，包括支臂和安装于支臂上的用于夹持圆片的圆环状的夹环，该夹环包括若干段夹环段，每个夹环段的一端设置有弧形的插杆，另一端设置有与弧形插杆适配的插孔，所述夹环段的插杆插入另一个相邻的夹环段的插孔内，每个夹环段的内侧底部均设置有卡舌，该卡舌的底部与夹环段的底部平齐，卡舌的内侧厚度由内而外逐渐增大，其中两个相邻的夹环段安装于支臂上，所述支臂和各夹环段上安装有驱动夹环段开合的开合机构。该转移夹具可以很好的夹持圆片，避免转移过程中圆片松动，同时也可以无需再使用顶针顶升，可靠性更高。