真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板
授权
摘要
本实用新型属于一种真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板,包括炉体(3),其特征是将抽气口法兰(1)焊接在炉体(3)上,然后将隔热挡尘板(2)放置在抽气口法兰(1)中,遮挡环三(2‑3)的上部边缘焊接3个均匀分布的连接柱(2‑4),再与遮挡环二(2‑2)焊接在一起,遮挡环二(2‑2)的上部边缘焊接3个均匀分布的连接柱(2‑4),最后将遮挡环一(2‑1)焊接上,隔热挡尘板(2)最大的外圆尺寸稍小于抽气口法兰(1)的内径尺寸,使用时可直接将隔热挡尘板(2)放置在抽气口法兰(1)中,无需其他部件辅助固定,该实用新型结构简单,拆装方便快捷,适用于多种真空设备,利用率高,可有效的阻挡部分热量及粉尘,延长设备使用寿命。
基本信息
专利标题 :
真空离子镀膜设备的抽气口隔热挡尘板
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922345659.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-24
授权号 :
CN211227313U
授权日 :
2020-08-11
发明人 :
高琳王宏瑜白春阳
申请人 :
大连金泰正新科技有限公司
申请人地址 :
辽宁省大连市开发区辽河西路155栋-B-3-2号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201922345659.1
主分类号 :
C23C14/32
IPC分类号 :
C23C14/32 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法;蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2020-08-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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