一种用于高真空镀膜机的冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于高真空镀膜机的冷却装置,涉及镀膜机冷却技术领域,包括风冷式热交换器、水箱、水泵和输水管道,所述水箱的第一出口通过输水管道与风冷式热交换器入口连接,所述风冷式热交换器出口通过输水管道与所述水箱的第一入口连接;所述水箱的第二出口通过输水管道与所述水泵入口连接,所述水泵出口通过输水管道与高真空镀膜机冷却系统入口连接,高真空镀膜机冷却系统出口通过输水管道与所述水箱第二入口连接;本实用新型通过引入风冷式热交换器,大幅降低了高真空镀膜机冷却装置的能耗,节约能源。
基本信息
专利标题 :
一种用于高真空镀膜机的冷却装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922354327.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-24
授权号 :
CN211367704U
授权日 :
2020-08-28
发明人 :
颜见锋
申请人 :
苏州市唯嘉光学有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市吴中区东山镇紫金路19号
代理机构 :
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
赵瑞鹏
优先权 :
CN201922354327.X
主分类号 :
C23C14/22
IPC分类号 :
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-08-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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