本实用新型公开了一种导电氧化锆旋转靶材制造专用装置，包括靶材夹持机构、旋转平台和底座，旋转平台固定在底座上，底座下方安装有可升降支撑腿，靶材夹持机构包括U形夹持架，U形夹持架包括底板、左侧板和右侧板，底板下端面开有上凹槽，旋转平台上端面开有与上凹槽对称的下凹槽，且上凹槽和下凹槽之间安装旋转轴，底座内安装有与旋转轴传动连接的电机，左侧板内侧安装第一固定块，右侧板内侧安装第二固定块，本实用新型结构设计新颖，结构稳定性好，能够实现对导电氧化锆旋转靶材表面的快速喷涂，同时能够进行均匀冷却，提高了靶材喷涂质量。