钇稳定氧化锆旋转靶材的制备方法及不锈钢管固定设备
实质审查的生效
摘要
本发明公开了钇稳定氧化锆旋转靶材的制备方法及不锈钢管固定设备，涉及靶材制造方法技术领域，包括以下步骤：步骤一，往质量百分比为92％‑96％的氧化锆粉末和质量百分比为4％‑8％的金属钇粉末中加入PVA粘结剂，并投入球磨机中，并加入去离子水，使溶液的固含量为50％‑70％，然后球磨3‑5小时，步骤二，将步骤一中球磨好的溶液通过喷雾造粒设备，制备成干燥粉末颗粒；本发明采用在氧化锆粉末中掺杂金属钇，高温煅烧后，钇夺取氧化锆中部分氧，达到氧化锆失氧的目的，形成氧化钇稳定氧化锆的导电粉末，通过等离子喷涂工艺制备出导电氧化锆旋转靶材，此靶材具有比纯氧化锆更优异的性能，强度高、硬度高、韧性高、耐磨性好及耐酸碱腐蚀。
基本信息
专利标题 ：
钇稳定氧化锆旋转靶材的制备方法及不锈钢管固定设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114262861A
申请号 ：
CN202111591395.3
公开（公告）日 ：
2022-04-01
申请日 ：
2021-12-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
孔伟华扈百直李俊涛
申请人 ：
江苏迪丞光电材料有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市经济开发区沂蒙山路3号
代理机构 ：
北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邓凤姿
优先权 ：
CN202111591395.3
主分类号 ：
C23C4/131
IPC分类号 ：
C23C4/131 C23C4/16 C23C4/08 C23C4/134 C23C4/11 C23C14/35 C04B35/48 C04B35/488 C04B35/626
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4/00
熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆（堆焊入B23K，例如B23K5/18，B23K9/04
C23C4/04
以镀覆材料为特征的
C23C4/131
电弧喷涂
法律状态
2022-04-19 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 4/131
申请日 : 20211223
申请日 : 20211223
2022-04-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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