一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构,该防尘结构包括网格膜、第一载体和第二载体,所述第一载体具有贯通的第一开口,所述第二载体具有贯通的第二开口;所述第一载体和第二载体分别设置在所述网格膜的两侧,所述网格膜间隔于所述第一开口和第二开口之间;所述第一载体和/或第二载体被配置为用于固定在MEMS器件上。本实用新型的所述第一载体和第二载体的设置对所述网格膜起到很好的支撑和保护作用,可以避免所述网格膜的直接接触损坏,而所述第一开口和第二开口与所述网格膜上的通孔相对设置,给空气提供了顺畅的通道,便于声音的传递。
基本信息
专利标题 :
一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922491292.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-31
授权号 :
CN211047214U
授权日 :
2020-07-17
发明人 :
林育菁宫岛博志佐野豊
申请人 :
潍坊歌尔微电子有限公司
申请人地址 :
山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
代理机构 :
潍坊正信致远知识产权代理有限公司
代理人 :
王秀芝
优先权 :
CN201922491292.4
主分类号 :
H04R19/00
IPC分类号 :
H04R19/00 H04R19/04 H04R31/00
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法律状态
2020-07-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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