一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构，该防尘结构包括网格膜和载体，所述载体呈柱状框架结构，所述载体具有沿自身轴向设置的贯通的开口，所述载体的侧壁具有弧形表面；所述网格膜具有固定连接区和透声区，所述固定连接区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区位于所述网格膜的边缘；所述网格膜设置在所述载体的端面上，所述透声区与所述开口的位置对应。将所述载体的侧壁设置成弧形表面，就可以很好地释放由于所述载体与所述MEMS器件厚度尺寸和材料特性的不同带来的变形和应力，避免了应力集中并传递至所述网格膜，对所述网格膜起到了很好地保护作用，提高了所述防尘结构的稳定性和使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922492646.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211047219U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
林育菁佐佐木宽充畠山庸平
申请人 ：
潍坊歌尔微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省潍坊市高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
代理机构 ：
潍坊正信致远知识产权代理有限公司
代理人 ：
王秀芝
优先权 ：
CN201922492646.7
主分类号 ：
H04R19/00
IPC分类号 ：
H04R19/00 H04R19/04
相关图片
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211047219U.PDF
PDF下载
