针对垫厚度使用机器学习和补偿的抛光装置
授权
摘要
针对传感器的每次扫描，从原位监测系统所接收的数据包括层上的多个不同位置的多个测量到的信号值。基于来自该原位监测系统的该数据确定抛光垫的厚度。针对每次扫描，基于该抛光垫的该厚度来调整该些测量到的信号值的一部分。针对多次扫描中的每次扫描和多个不同位置中的每个位置，生成表示该位置处的该层的厚度的值。此举包括使用由机器学习来构造的一个或多个处理器来处理这些调整后信号值。基于表示该多个不同位置处的该些厚度的该些值来检测抛光终点或更改抛光参数。
基本信息
专利标题 ：
针对垫厚度使用机器学习和补偿的抛光装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111246970A
申请号 ：
CN201980005214.9
公开（公告）日 ：
2020-06-05
申请日 ：
2019-03-28
授权号 ：
CN111246970B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
徐坤丹尼斯·伊万诺夫哈里·Q·李钱隽
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201980005214.9
主分类号 ：
B24B37/005
IPC分类号 ：
B24B37/005 B24B37/20 B24B49/10 H01L21/304 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/005
研磨机床或装置的控制装置
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2020-06-30 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/005
申请日 : 20190328
申请日 : 20190328
2020-06-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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