一种激光器结构及其制备方法和应用
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摘要
本发明提出一种激光器结构及其制备方法和应用，所述激光器结构包括：衬底；外延层，设置在所述衬底上，所述外延层包括层叠的下包层、有源层、上包层和欧姆接触层；脊型波导，形成在所述上包层上；多个周期调制光栅，形成在所述上包层上，并位于所述脊型波导的两侧；其中，所述多个周期调制光栅与所述有源层之间具有预设距离，所述预设距离为50～200nm。本发明提出的激光器制作工艺简单、边模抑制比高、调制速度快，具有优良的动态单模特性。
基本信息
专利标题 ：
一种激光器结构及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111262130A
申请号 ：
CN202010162903.5
公开（公告）日 ：
2020-06-09
申请日 ：
2020-03-10
授权号 ：
CN111262130B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
李齐柱毛明明周特张鹏飞徐真真
申请人 ：
常州纵慧芯光半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路7号
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
王华英
优先权 ：
CN202010162903.5
主分类号 ：
H01S5/12
IPC分类号 ：
H01S5/12
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2020-07-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/12
申请日 : 20200310
申请日 : 20200310
2020-06-09 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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