一种半导体芯片加工用分切设备
授权
摘要

本发明提供了一种半导体芯片加工用分切设备,属于芯片加工技术领域,包括工作箱以及设置在所述工作箱一侧的激光切片机,所述工作箱上部一侧开设有用于放置硅锭的凹槽,工作箱内部设置有用于带动所述硅锭向上移动的升降组件,所述凹槽远离所述激光切片机的一侧设置有支撑柱,所述支撑柱竖直延伸至所述工作箱内部并与所述工作箱底部固定连接,支撑柱外部套设有驱动筒。本发明实施例通过激光切片机对硅锭进行切片后,通过驱动组件带动驱动筒转动,将取料组件移动至硅锭上部,对切除下来的晶圆进行取料,并带动晶圆从硅锭上部移开,可实现硅锭的连续分切以及取料操作,具有自动化程度高以及切片效率高的优点。

基本信息
专利标题 :
一种半导体芯片加工用分切设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112091442A
申请号 :
CN202010444521.1
公开(公告)日 :
2020-12-18
申请日 :
2020-05-23
授权号 :
CN112091442B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
王跃杰
申请人 :
深圳市腾鑫精密电子芯材科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市宝安区松岗街道红星社区港联渔塘格布第二工业区D栋、潭头西部工业区B7/B17/B49栋
代理机构 :
广州京远智库知识产权代理有限公司
代理人 :
胡伟华
优先权 :
CN202010444521.1
主分类号 :
B23K26/38
IPC分类号 :
B23K26/38  B23K26/402  B23K26/70  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/38
用于打孔或切割
法律状态
2022-05-17 :
授权
2021-01-05 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/38
申请日 : 20200523
2020-12-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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