一种微电子机械系统传感器的大规模生产方法
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摘要
本发明公开了一种微电子机械系统传感器的大规模生产方法，包括整平衬底；利用电镀或物理气相沉积制备具有垂直磁各向异性的底部硬磁体；用蚀刻法清除可蚀刻材料而制备中空管的，以容纳含硬磁材料的悬浮体；在临时可蚀刻材料中制备具有垂直磁各向异性的含硬磁材料的悬浮体，其硬磁材料有与底部硬磁体不一样的磁矫顽力；悬浮体通过蚀刻去除临时可蚀刻材料而释放于中空管中；在中空管外制备感应器；利用均匀外磁场对传感器的每个关键磁性部件进行磁化，以获取设计期望的磁化方向；切割所述衬底以获得单个所述的传感器。本发明给出了利用半导体晶圆工艺与微电子机械系统(MEMS)技术相结合，大规模低成本生产这种类型传感器的制造方案。
基本信息
专利标题 ：
一种微电子机械系统传感器的大规模生产方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111609870A
申请号 ：
CN202010481323.2
公开（公告）日 ：
2020-09-01
申请日 ：
2015-01-29
授权号 ：
CN111609870B
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
易舸万渡江
申请人 ：
万渡江;易舸
申请人地址 ：
广西壮族自治区桂林市象山区翠竹路号鸣翠新都31栋1单元603室
代理机构 ：
桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司
代理人 ：
覃永峰
优先权 ：
CN202010481323.2
主分类号 ：
G01D5/12
IPC分类号 ：
G01D5/12 G01D5/24 A61B5/11
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器
G01D5/12
采用电或磁装置
法律状态
2022-04-01 ：
授权
2020-09-25 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01D 5/12
申请日 : 20150129
申请日 : 20150129
2020-09-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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