一种单光子雪崩二极管检测器
公开
摘要
一种单光子雪崩二极管(SPAD)检测器，其特征在于，所述SPAD检测器包括：具有体区域的半导体衬底；以及具有所述体区域的半导体衬底；在半导体衬底的主体区域上的至少一个SPAD，该SPAD具有有第一导电类型的第一区域、第二导电类型的第二区域和雪崩区域，所述第二导电类型与所述第一导电类型不同，所述雪崩区域夹在所述第一区域与所述第二区域之间，且该SPAD具有至少两个在纵向上深度不同的雪崩区域。通过该SPAD检测器可以增加PDE减小SPAD响应时间的抖动。
基本信息
专利标题 ：
一种单光子雪崩二极管检测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114284376A
申请号 ：
CN202011039380.1
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2020-09-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
雷述宇
申请人 ：
宁波飞芯电子科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市奉化区岳林东路389号2212室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202011039380.1
主分类号 ：
H01L31/0352
IPC分类号 ：
H01L31/0352 H01L31/107
法律状态
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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