生产设备及固晶装置
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种生产设备及固晶装置，固晶装置包含间隔地排列设置的多个固晶臂。其中，每个固晶臂包含具有透光部的一抵压支架、连接于抵压支架的一力量控制单元、及对应于透光部设置的一光固化器。抵压支架用来可移动地压迫于通过胶体而设置于载体上的一芯片。当抵压支架压迫于芯片时，力量控制单元能驱使抵压支架以一预定力量压迫于芯片，以使芯片通过胶体而连接于载体，并且光固化器发射能穿过透光部而投射于芯片的一固化光线，以固化胶体。据此，固晶装置通过上述构造而能有效地提升生产效率。
基本信息
专利标题 ：
生产设备及固晶装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114388393A
申请号 ：
CN202011139006.9
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2020-10-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
石敦智黄良印林语尚
申请人 ：
均华精密工业股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾
代理机构 ：
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
王红艳
优先权 ：
CN202011139006.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677 H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20201022
申请日 : 20201022
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
