本发明提供了一种氧化铟锡合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将氧化铟和氧化锡置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物抽真空后冷等静压，得到粗坯，将所述粗坯进行二次压制，得到合金靶材生坯；C)将合金靶材生坯进行真空热压烧结，得到氧化铟锡合金靶材粗品；D)将所述氧化铟锡合金靶材粗品进行退火，将步骤A)的混合物等离子喷涂至退火后的氧化铟锡合金靶材粗品表面，得到氧化铟锡合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的氧化铟锡合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。