一种刻蚀机的载片装置
公开
摘要
本发明公开了一种刻蚀机的载片装置，包括装载箱，所述装载箱顶部铰接有密封盖，所述装载箱一侧开设有送料口，所述装载箱内部设有承载板，所述承载板与装载箱滑动连接，所述承载板顶部设有片盘存放机构，所述承载板底部设有传动机构，所述片盘存放机构包括限位框，所述限位框设在承载板顶部。本发明通过设置存储盒以及其内部的多个托架，可以放置多个盘片，通过外部机械臂对托架上的盘片进行取放，通过伺服电机输出轴带动丝杆转动，从而使存储盒移动，使存放加工好的片盘的托架移动，从而使另外的托架移动到当前位置，然后再次使用机械臂取出未加工的片盘，如此循环直至将存储盒内部的片盘全部加工完成。
基本信息
专利标题 ：
一种刻蚀机的载片装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114464518A
申请号 ：
CN202011240165.8
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2020-11-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴峰唐建成
申请人 ：
无锡芯汉电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市湖滨路655号325室
代理机构 ：
无锡华源专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
聂启新
优先权 ：
CN202011240165.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/673 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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