一种转轴角度确认机构及硅片研磨装置
授权
摘要

本发明公开了一种转轴角度确认机构及硅片研磨装置,涉及硅片制造技术领域。一种转轴角度确认机构包括支撑平台、光源和两个接收杆,支撑平台用于安装转轴,转轴穿过支撑平台的支撑面,光源设置在转轴的侧壁上,两个接收杆分别垂直安装在支撑平台上,且两个接收杆相互平行,光源发出的光线随着转轴的转动照射在两个接收杆上。上述转轴角度确认机构通过测量设置在转轴上的光源的光线照射在两个平行且垂直于支撑平台的接收杆上的位置,确定转轴安装是否正常以及转轴与支撑平台之间是否存在异物,可以在硅片研磨之前确认转轴安装是否存在偏移,缩短了验证时间,有效避免了因转轴安装不良引起的硅片质量异常或者破片,减少了经济损失。

基本信息
专利标题 :
一种转轴角度确认机构及硅片研磨装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112743447A
申请号 :
CN202011644887.X
公开(公告)日 :
2021-05-04
申请日 :
2020-12-31
授权号 :
CN112743447B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
叶顺成
申请人 :
泉芯集成电路制造(济南)有限公司
申请人地址 :
山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
张洋
优先权 :
CN202011644887.X
主分类号 :
B24B37/10
IPC分类号 :
B24B37/10  B24B37/30  B24B37/34  B24B55/00  B24B7/22  B24B41/06  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2022-04-15 :
授权
2021-05-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 37/10
申请日 : 20201231
2021-05-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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