一种埋阻蚀刻设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种埋阻蚀刻设备，包括设备机架，安装于设备机架的蚀刻槽，安装于设备机架且位于蚀刻槽右边的第一清洗槽，安装于设备机架且位于第一清洗槽右边的第二清洗槽，安装于蚀刻槽内壁的加热器，安装于蚀刻槽内且与加热器电性连接的第一浮球开关组件，安装于蚀刻槽内的第二浮球开关组件，与第二浮球开关组件电性连接的补水电磁阀，与蚀刻槽连接的药水循环组件，与第一清洗槽、第二清洗槽连接的鼓风组件，以及用于控制设备开关的电控箱。采用本方案的蚀刻设备，结合蚀刻工艺，解决实现加热和蚀刻温度准确管控，药水及时自动补充并可循环过滤的问题，从而实现埋阻层蚀刻品质的控制，满足更高精度埋阻蚀刻要求的制作。
基本信息
专利标题 ：
一种埋阻蚀刻设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020007257.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-02
授权号 ：
CN211297176U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
焦鹏云吴永恒刘治航
申请人 ：
深圳市景旺电子股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗水库路166号
代理机构 ：
深圳市精英专利事务所
代理人 ：
李翔宇
优先权 ：
CN202020007257.0
主分类号 ：
H05K3/06
IPC分类号 ：
H05K3/06
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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