蒸镀机喷嘴疏通装置
授权
摘要
本实用新型涉及蒸镀技术领域，公开一种蒸镀机喷嘴疏通装置，蒸镀机喷嘴疏通装置包括：直线驱动组件和疏通组件；其中，直线驱动组件用于驱动疏通组件沿预设方向作伸缩运动，以使疏通组件进出喷嘴。在上述蒸镀机喷嘴疏通装置中，当喷嘴发生堵塞时，利用直线驱动组件驱动驱动疏通组件沿预设方向外伸，疏通组件插入对应的被堵塞的喷嘴，将喷嘴内侧壁附着的蒸镀材料清除掉，使喷嘴恢复通畅性，随后，直线驱动组件驱动疏通组件回缩，疏通组件从喷嘴中出来，完成对喷嘴的疏通工作，蒸镀材料经过喷嘴蒸发出来的速率恢复至喷嘴堵塞前的速率，蒸镀材料在基板表面形成的薄膜厚度恢复均匀。
基本信息
专利标题 ：
蒸镀机喷嘴疏通装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020008168.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-01-02
授权号 ：
CN211445878U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
范飞飞曹景博
申请人 ：
合肥欣奕华智能机器有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市新站区龙子湖路与荆山路交口西南
代理机构 ：
北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人 ：
李欣
优先权 ：
CN202020008168.8
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/12 C23C14/04
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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