一种超精密高效硅片双面研磨设备
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摘要
本实用新型涉及研磨加工设备技术领域,公开了一种超精密高效硅片双面研磨设备,包括机壳,所述机壳的顶端一侧设有支架,所述支架的顶端设有气缸,所述气缸贯穿支架且底端连接有上研磨盘,所述上研磨盘正下方的机壳上设有支撑座,所述支撑座上设有下研磨盘,所述下研磨盘的中部设置有主动轮,所述主动轮与设置在支撑座内的传动电机相连接,所述下研磨盘的内壁上设有吸尘机构,所述吸尘机构延伸至机壳内部并与除尘箱相连通。本实用新型通过设置的吸尘机构,吸尘孔能够将研磨出的粉尘进行吸收,由于吸尘孔设置为一圈,从而实现每个角度的吸尘,并且过滤网与活性炭网通过支撑块安装在除尘箱内部,便于拆卸与清洁,提高了除尘箱的除尘效率。
基本信息
专利标题 :
一种超精密高效硅片双面研磨设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020036499.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-08
授权号 :
CN211728758U
授权日 :
2020-10-23
发明人 :
丁杰
申请人 :
深圳市新顺鑫科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙岗区龙岗同乐宝龙工业城南同大道9号3栋三楼
代理机构 :
深圳市新虹光知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郭长龙
优先权 :
CN202020036499.2
主分类号 :
B24B37/08
IPC分类号 :
B24B37/08 B24B55/06
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/08
用于双侧研磨
法律状态
2020-10-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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