一种曝光机用的循环冷却装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种曝光机用的循环冷却装置,解决了现有的曝光机用的循环冷却装置,不仅冷却效果不好,且采用排放或抽取的方式,易影响到室内维持正压值的问题,其包括机台,所述机台上部一侧固定有温度计,机台下部一侧固定有第一管道,第一管道外部一侧固定有箱体,箱体外部一侧固定有防尘网,箱体和机台顶端之间固定有第二管道,机台、箱体、第一管道和第二管道内部之间固定有水冷组件,机台、箱体、第一管道和第二管道内部位于水冷组件外部一侧固定有降温组件;本实用新型结构简单,通过水冷组件能有效的对装置内进行降温冷却,保证装置能正常作业,而循环组件则在保证装置降温的同时,有效的防止室内的正压值不受到影响。

基本信息
专利标题 :
一种曝光机用的循环冷却装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020099526.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-17
授权号 :
CN211086920U
授权日 :
2020-07-24
发明人 :
袁强刘长征
申请人 :
龙岩海圣科技有限公司
申请人地址 :
福建省龙岩市武平县岩前镇高新园区东路20号
代理机构 :
东莞合方知识产权代理有限公司
代理人 :
梁洪文
优先权 :
CN202020099526.0
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-07-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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