一种曝光机用冷却水分配系统
授权
摘要
本实用新型提供了一种曝光机用冷却水分配系统，其能解决现有曝光机的冷却水分配系统多是由自来水管搭建，费时费力、占用空间大、调节精度不高，且维修困难的问题。其包括歧管块，歧管块内部分别设有总进水通道和总回水通道，总进水通道和总回水通道的一端封闭，另一端分别安装有快插接头；歧管块上还分别开有至少两个与总进水通道连通的分出水口，分出水口上密封安装有出水调节阀，出水调节阀上安装有流量计，流量计上安装有快插接头；歧管块上还分别开有数量与分出水口一致的且与总回水通道连通的分回水口，分回水口上密封安装有回水调节阀，回水调节阀上安装有快插接头。
基本信息
专利标题 ：
一种曝光机用冷却水分配系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921873617.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-04
授权号 ：
CN211061849U
授权日 ：
2020-07-21
发明人 ：
王亮陆长利
申请人 ：
无锡力华智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园F10-1
代理机构 ：
无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
张宁
优先权 ：
CN201921873617.9
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-07-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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