一种非对称MOSFET及半导体器件
授权
摘要
本实用新型提供一种非对称MOSFET及半导体器件,非对称MOSFET形成在绝缘体上硅衬底上,并且源极区的轻掺杂区的长度小于漏极区的轻掺杂区的长度,或者源极区没有轻掺杂区。由于绝缘体上硅衬底自身的特点,使得绝缘体上硅比体硅能够实现更浅的源漏结,因而能够制造更高速度的晶体管。尤其对于30nm以下的晶体管工艺,采用绝缘体上硅是提高晶体管速度的优良解决方案。本实用新型的非对称MOSFET与传统的非对称MOSFET制造工艺兼容,整个过程不会产生成本的提高。半导体器件中非对称MOSFET的不同的排布方式不需要增加光掩模版,也不会增加工艺控制的复杂度和倾斜角的控制难度,同时增加了实际电路使用中的丰富度。
基本信息
专利标题 :
一种非对称MOSFET及半导体器件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020198722.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-24
授权号 :
CN211555897U
授权日 :
2020-09-22
发明人 :
刘森戴彬史林森刘筱伟
申请人 :
微龛(广州)半导体有限公司
申请人地址 :
广东省广州市高新技术产业开发区科学大道18号A栋十一层1101单元
代理机构 :
北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈敏
优先权 :
CN202020198722.3
主分类号 :
H01L29/786
IPC分类号 :
H01L29/786 H01L29/08 H01L29/06 H01L27/092
法律状态
2020-09-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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