单晶炉侧部加热器连接器
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摘要
一种单晶炉侧部加热器连接器,涉及单晶炉部件技术领域,将侧部加热器与石墨电极连接,侧部加热器位于石墨电极上部,单晶炉侧部加热器连接器包括固定连接的侧部加热器连接部及石墨电极连接部,两者互相垂直形成L型,侧部加热器连接部与侧部加热器连接,石墨电极连接部与石墨电极连接;石墨电极连接部的底部开设有凹槽,凹槽与石墨电极的一端相适配,以使石墨电极的一端嵌入凹槽内固定。石墨电极连接部与石墨电极连接,通过石墨电极嵌入凹槽的方式将石墨电极连接部与石墨电极连接,不需要通过螺栓将石墨电极与侧部加热器连接器螺纹连接,防止螺纹旋拧的力度偏差导致石墨电极偏离铅垂面,进而防止石墨电极打火漏电,减少安全隐患。
基本信息
专利标题 :
单晶炉侧部加热器连接器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020284103.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-10
授权号 :
CN211854928U
授权日 :
2020-11-03
发明人 :
马成马吟霜
申请人 :
宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 :
宁夏回族自治区银川市西夏区光明西路28号
代理机构 :
宁夏合天律师事务所
代理人 :
孙彦虎
优先权 :
CN202020284103.6
主分类号 :
F27D11/10
IPC分类号 :
F27D11/10
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D11/00
炉内或炉上电热元件的配置
F27D11/08
放电加热的,例如电弧放电
F27D11/10
电极的配置
法律状态
2020-11-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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