一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉

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摘要

本实用新型涉及直拉单晶硅技术领域，公开了一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉，该直拉单晶硅用加热器包括圆筒状的主发热体，主发热体的筒体上设置有沿周向交替分布的第一缝隙和第二缝隙，第一缝隙与第二缝隙均沿主发热体的轴心线方向延伸，且第一缝隙的开口朝向与第二缝隙的开口朝向相反，第一缝隙和第二缝隙将主发热体分成多根依次串联的发热条，第一缝隙和第二缝隙的中间区域的宽度小于两端的宽度，以使每根发热条中间区域的宽度大于其两端的宽度。该直拉单晶硅用加热器能降低纵向的温度梯度，进而降低直拉单晶硅中的氧含量，达到减弱直拉单晶硅氧施主效应的目的。

基本信息

专利标题：

一种直拉单晶硅用加热器及单晶生长炉

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921802643.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-24

授权号：

CN211546715U

授权日：

2020-09-22

发明人：

关树军罗才军赵智强张伟新陈辉

申请人：

北京京运通科技股份有限公司

申请人地址：

北京市大兴区经济技术开发区经海四路158号

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司

代理人：

郝志国

优先权：

CN201921802643.2

主分类号：

C30B15/14

IPC分类号：

C30B15/14 C30B29/06