一种直拉单晶硅炉用组合式加热器
授权
摘要
本实用新型公开了一种直拉单晶硅炉用组合式加热器,包括包括上环、下环、加热条、引电板、垫片、紧固螺钉六个部分。所述上环和下环上的条形槽内有两个M8的螺纹孔,所述上环和下环内部的条形槽内分别卡接有加热条,通过紧固螺钉将加热条两端锁紧在上环和下环内部的条形槽,条形槽内设置有垫片,所述下环外侧对称设置有两组引电板。本实用新型通过石墨和碳/碳或碳/碳化硅材料拼接组合而成,解决了大尺寸加热器原材料昂贵的问题;提高了加热器的强度,延长了使用寿命;本实用新型通过多块加热条拼接加热主体的设计,出现故障时,可随意更换损坏的加热条,实现了加热器的可修复性,从而降低了使用成本。
基本信息
专利标题 :
一种直拉单晶硅炉用组合式加热器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020065114.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-01-13
授权号 :
CN212223146U
授权日 :
2020-12-25
发明人 :
樊乾国侯光远杨浩贾武林
申请人 :
陕西美兰德炭素有限责任公司
申请人地址 :
陕西省西安市临潼区秦陵北路56号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020065114.5
主分类号 :
C30B15/14
IPC分类号 :
C30B15/14 C30B29/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长,例如Czochralski法
C30B15/14
熔融液或已结晶化材料的加热
法律状态
2020-12-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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