用于直拉单晶炉热场的三相交流加热器

授权

摘要

本实用新型公开了一种用于直拉单晶炉热场的三相交流加热器，包括分别位于正三角形3个端点的三个加热器脚；三个加热器叶片组件围合形成一个圆筒，相邻的加热器叶片组件之间设有间隙Ⅰ；所述三个加热器脚位于圆筒的内表面的底部；在2个相邻的加热器叶片组件之间设置一个加热器脚。本实用新型还同时公开了该三相交流加热器的使用方法。本实用新型利用三相交流加热器形成内部磁场，不仅起到横向磁场和旋转磁场的作用，而且节省了外置磁场设备的造价及运维费用，大大降低了产品的生产成本。

基本信息

专利标题：

用于直拉单晶炉热场的三相交流加热器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020288304.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-03-10

授权号：

CN211897163U

授权日：

2020-11-10

发明人：

沈益军潘金平肖世豪周永前饶伟星高海军杨国梁陈洪苏文霞徐斌

申请人：

浙江海纳半导体有限公司

申请人地址：

浙江省衢州市开化县华埠镇万向路5号

代理机构：

杭州中成专利事务所有限公司

代理人：

金祺

优先权：

CN202020288304.3

主分类号：

C30B15/14

IPC分类号：

C30B15/14 C30B29/06 C30B30/04