一种晶圆盒定位工装及晶圆盒固定承载台
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种晶圆盒定位工装及晶圆盒固定承载台,属于晶圆生产技术领域。该晶圆盒定位工装,包括工装主体和限位组件,其中,工装主体上开设有用于放置晶圆盒的嵌入凹槽,嵌入凹槽的槽壁上预设有卡槽,卡槽包括至少两个固定挡边,每个固定挡边分别用于相应规格晶圆盒的限位;限位组件设置在工装主体上,限位组件包括可调挡块,可调挡块伸出时能与相应固定挡边配合用于晶圆盒的定位。晶圆盒固定承载台包括上述晶圆盒定位工装。本实用新型的晶圆盒定位工装及晶圆盒固定承载台,通过卡槽实现晶圆盒的限位;卡槽包括至少两个固定挡边以分别用于相应规格晶圆盒的限位,能适用于多种规格晶圆盒,降低生产成本并提高生产效率。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆盒定位工装及晶圆盒固定承载台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020416742.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-03-27
授权号 :
CN212245198U
授权日 :
2020-12-29
发明人 :
唐超林坚卢伟
申请人 :
泓浒(昆山)半导体光电有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山开发区环娄路181号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN202020416742.3
主分类号 :
B65G47/74
IPC分类号 :
B65G47/74
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置;使用这些装置的方法
B65G47/74
特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置
法律状态
2021-03-23 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : B65G 47/74
变更事项 : 专利权人
变更前 : 泓浒(昆山)半导体光电有限公司
变更后 : 泓浒(苏州)半导体科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215300 江苏省苏州市昆山开发区环娄路181号
变更后 : 215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
变更事项 : 专利权人
变更前 : 泓浒(昆山)半导体光电有限公司
变更后 : 泓浒(苏州)半导体科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215300 江苏省苏州市昆山开发区环娄路181号
变更后 : 215000 江苏省苏州市相城区元和万里路88号4号楼1楼104室
2020-12-29 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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