一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟
授权
摘要

本实用新型公开了一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟,要解决的是现有石墨舟在承载太阳能硅片时存在的问题。本产品包括舟片本体,所述舟片本体上的不同位置加工有多个孔位,每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸。本产品设计合理,在舟片本体上设置有多个孔位,每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸,只需要调整卡点装配的位置就能实现各种太阳能硅片的相互切换,从而大大降低了改造成本;孔位上安装有堵头,需要生产某种规格的太阳能硅片时,用堵头将其他的孔位堵上,可以保证太阳能硅片在舟片本体内固定的位置和角度。

基本信息
专利标题 :
一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020619717.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-22
授权号 :
CN213925009U
授权日 :
2021-08-10
发明人 :
余波郑方渊张华冯晓倩
申请人 :
上海弘竣新能源材料有限公司
申请人地址 :
上海市青浦区华新镇华腾路1288号1幢4层I区438室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202020619717.5
主分类号 :
C23C16/458
IPC分类号 :
C23C16/458  C23C16/50  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-08-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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