一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟
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摘要
本实用新型涉及一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟。它包括若干片等间隔排布的石墨舟叶和若干石墨固定块，石墨舟叶的两侧设有电极连接耳，奇数位石墨舟叶上的电极连接耳之间通过石墨固定块统一连接，偶数位石墨舟叶上的电极连接耳之间也通过石墨固定块统一连接，奇数位上的石墨固定块和偶数位上的石墨固定块单独连接电源正负极，一般电源正负极与位于中部的石墨固定块连接，石墨舟叶之间穿设有若干根起固定作用的固定杆，相邻石墨舟叶之间设有若干个可将硅片以倾斜状态固定的硅片固定位，倾斜角为1°～9°，硅片固定位为沿石墨舟叶长度方向线性分布。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于承载大尺寸硅片的石墨舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922427513.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-26
授权号 ：
CN211645378U
授权日 ：
2020-10-09
发明人 ：
沈永臻林纲正陈刚
申请人 ：
浙江爱旭太阳能科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号
代理机构 ：
金华智芽专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈迪
优先权 ：
CN201922427513.1
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458 H01L21/673 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2020-10-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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