一种外层曝光机
授权
摘要
本实用新型提供了一种外层曝光机，包括：曝光机本体及设置于曝光机本体上的光源系统，光源系统包括UV‑LED光源、驱动组件、控制器和冷却组件，曝光机本体具有曝光空间，UV‑LED光源滑动连接于曝光机本体且位于曝光空间内，驱动组件连接于曝光机本体且与UV‑LED光源相连，冷却组件用于外接冷却水并将冷却水导向UV‑LED光源的散热处，控制器设置于曝光机本体且与驱动组件及UV‑LED光源相连，控制器用于控制UV‑LED光源的通断，控制器用于控制驱动组件带动UV‑LED光源在曝光空间内移动。本方案的外层曝光机发光效率更高，更加节能环保，且曝光均匀性更好，提高了曝光质量。
基本信息
专利标题 ：
一种外层曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020725971.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-06
授权号 ：
CN211698591U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
付艳
申请人 ：
兴英数位科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区沙井街道和一社区沙头工业区兴英厂厂房6栋一层（4栋、6栋）
代理机构 ：
深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙)
代理人 ：
龙丹丹
优先权 ：
CN202020725971.3
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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