一种时分复用曝光光源
授权
摘要
本实用新型公开了一种时分复用曝光光源，包括脉冲光线出射组件、匀光模块、准直透镜组、转向棱镜组、数字微反射镜、投影镜头和曝光台面，该时分复用曝光光源通过脉冲出射组件中相邻紫外光源的脉冲间隔同数字微反射镜工作状态切换的脉冲间隔匹配，可以有效消除曝光台面的“拖影”现象，提高曝光质量，同时，工作在脉冲模式的光源可以通过控制占空比获得较大的脉冲能量输出，多光源按时间先后依次曝光，进一步降低了曝光光源的占空比，有利于光源的过载保护和有效散热，可以获得稳定的光功率输出。
基本信息
专利标题 ：
一种时分复用曝光光源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020790200.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-13
授权号 ：
CN211979421U
授权日 ：
2020-11-20
发明人 ：
张博李康
申请人 ：
河南百合特种光学研究院有限公司
申请人地址 ：
河南省新乡市红旗区新东大道166号
代理机构 ：
新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
杨杰
优先权 ：
CN202020790200.2
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-11-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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