一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置
授权
摘要

本实用新型涉及半导体生产技术领域,且公开了一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置,包括装置底座,所述装置底座的上端固定连接有对称设置的两个夹持转动机构,且装置底座的上端设置有可滑动的打磨装置,所述夹持转动机构包括连接杆,且连接杆的端部同轴连接有夹板,位于两个夹持转动机构处的所述夹板之间通过定位装置夹持有硅晶圆柱。该种半导体生产用硅晶圆柱加工装置,通过在夹板和硅晶圆柱之间设置定位装置,使得操作人员可以通过转动环体一的方式,使得硅晶圆柱侧壁受到三个弧形转块内壁的抵力作用,逐渐移动至环体一中心处,由此确保夹板的位置位于硅晶圆柱的轴心处以保证硅晶圆柱平稳转动。

基本信息
专利标题 :
一种半导体生产用硅晶圆柱加工装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020816185.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-16
授权号 :
CN212351357U
授权日 :
2021-01-15
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
上海芯菩特半导体科技有限公司
申请人地址 :
上海市青浦区青浦工业园区友爱路18号2幢L区185室
代理机构 :
苏州吴韵知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王铭陆
优先权 :
CN202020816185.4
主分类号 :
B24B5/04
IPC分类号 :
B24B5/04  B24B5/50  B24B5/35  B24B41/06  B24B41/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B5/00
为磨削工件旋转面设计的机床或装置,还包含磨相邻平面;及其附件
B24B5/02
带有夹持工件的顶尖或卡盘的
B24B5/04
用于磨削圆柱形外表面
法律状态
2021-01-15 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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