本实用新型公开了一种大功率电子与离子的等离子体源，包括：空心阴极主体、可拆卸空心阴极部分、可拆卸陶瓷管、阳极、永磁体、发射阴极主体、可拆卸发射阴极部分及加速电极；所述空心阴极主体、可拆卸空心阴极部分及可拆卸陶瓷管共同形成空心阴极；所述发射阴极主体与可拆卸发射阴极部分过盈配合共同形成发射阴极。本实用新型更易更换空心阴极易损件，提高了空心阴极的工作寿命，通过更换空心阴极中可拆卸部分，可减少空心阴极材料的损耗，改进了永磁体的冷却性能和相关组件的运行稳定性，增加了等离子体浓度、提高了电子束功率。