一种超细线路制备装置
授权
摘要
本实用新型提供一种超细线路制备装置，其中，包括纳米铜气溶胶制备装置和纳米铜收集装置，所述纳米铜气溶胶制备装置通过管道与所述纳米铜收集装置连接，所述纳米铜收集装置包括外壳，所述外壳内部设有用于放置基板并接收所述纳米铜气溶胶制备装置制备出的纳米铜气溶胶的XY移动平台，以及用于对XY移动平台上放置的基板进行光烧结的光学系统，所述外壳上设有抽真空装置和出气口，所述出气口上设有第一单向排气阀。本实用新型能够有效避免纳米铜颗粒被氧化，显著提高基本上超细线路的加工效率，且成本低、无污染。
基本信息
专利标题 ：
一种超细线路制备装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020844081.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-19
授权号 ：
CN212259467U
授权日 ：
2020-12-29
发明人 ：
张昱刘强崔成强陈新
申请人 ：
广东工业大学
申请人地址 ：
广东省广州市越秀区东风东路729号
代理机构 ：
广州粤高专利商标代理有限公司
代理人 ：
戴涛
优先权 ：
CN202020844081.4
主分类号 ：
H05K3/18
IPC分类号 ：
H05K3/18 H05K3/24 B22F3/105 B33Y10/00 B33Y30/00
法律状态
2020-12-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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