半导体设备及其观察窗组件
授权
摘要
本实用新型公开一种半导体设备的观察窗组件，包括观察窗本体、遮挡板、连接部和限位部，观察窗本体具有安装面，遮挡板可滑动地设置于安装面，遮挡板开设有条形孔，连接部的第一端与条形孔背离安装面的端口限位配合，连接部的第二端穿过条形孔、且与观察窗本体相连，观察窗本体的侧壁上开设有限位槽，条形孔沿朝向限位槽的方向延伸，限位部的第一端与遮挡板相连，限位部的第二端可与限位槽配合限位。本实用新型还公开一种半导体设备。本方案解决现有的半导体设备中，通过观察窗观察反应腔室内气体的反应情况时需要较繁琐的操作的问题。
基本信息
专利标题 ：
半导体设备及其观察窗组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020851538.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-20
授权号 ：
CN211907393U
授权日 ：
2020-11-10
发明人 ：
贺斌
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
施敬勃
优先权 ：
CN202020851538.4
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-11-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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