一种用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置
授权
摘要
本实用新型属于材料检测技术领域，提供了一种用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置，包括：工作面，其上设有工作台，用于放置待检测的晶体；外罩，呈倒置的U型，其扣盖在所述工作面上并与其形成密闭的空腔；光源，设置于所述密闭的空腔内，用于直射在所述晶体上；图像采集器，设置于所述外罩外部顶端且位于所述晶体的上方；和图像处理设备，设置于所述密闭的空腔外且与所述图像采集器相连接。本申请相比于常用的高分辨透射电镜法、光吸收法和Raman光谱法三种鉴别晶体多型的方法，具有对样品无损检测的优点，也不需要特殊处理，快速判断，且检测装置成本大大降低，在一定的精度要求下，能达到最佳性价比。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶体材料的晶型与缺陷的检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020897105.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-25
授权号 ：
CN213041754U
授权日 ：
2021-04-23
发明人 ：
袁振洲刘欣宇
申请人 ：
江苏超芯星半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市仪征市经济开发区闽泰大道9号A5栋
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
王佳妹
优先权 ：
CN202020897105.2
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2021-04-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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