一种真空气流控制系统
授权
摘要
本实用新型公开一种真空气流控制系统，其连接于分析仪器的真空室外，包括：气体流速控制装置以及空气过滤系统；当抽真空时，气体由真空室经由四通至气体流速控制装置后由所述真空泵抽出；当泄压时，气体由所述空气过滤系统经由四通到达所述真空室。本申请在保持分析仪器现有结构的优点下直接外接于真空室，降低进入和流出真空室内的气体的流速，并且保证真空室内的真空度和洁净度，从而起到保护真空室内电器元件的作用。
基本信息
专利标题 ：
一种真空气流控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020927698.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-28
授权号 ：
CN212181323U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
乔文韬郑华
申请人 ：
上海精谱科技有限公司
申请人地址 ：
上海市嘉定区西冈身路569号
代理机构 ：
上海宏威知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵芳梅
优先权 ：
CN202020927698.2
主分类号 ：
G05D7/06
IPC分类号 ：
G05D7/06 F04B37/14
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G05
控制；调节
G05D
非电变量的控制或调节系统
G05D7/00
流量控制
G05D7/06
以使用电装置为特征的
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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