一种晶圆棒运输承载装置
授权
摘要
本实用新型提供一种晶圆棒运输承载装置,具有可移动的底座组件、用于放置晶圆棒的支撑组件和用于防止所述晶圆棒侧翻的防护组件,所述支撑组件置于所示底座组件上固定设置;所述防护组件置于所示支撑组件上并可调节设置于所述支撑组件宽度方向上。本实用新型的有益效果是:结构设计合理,安全性能高且通用性强,可承载各种直径和长度的晶圆棒的放置,更适合现有大尺寸直径化和长度化的晶体晶圆棒的运输,效率高且防侧翻效果好。
基本信息
专利标题 :
一种晶圆棒运输承载装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021213819.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-28
授权号 :
CN212861576U
授权日 :
2021-04-02
发明人 :
孙鹏程高润飞刘源浩秦聪明严顺康朱冬海
申请人 :
内蒙古中环协鑫光伏材料有限公司;杭州中为光电技术有限公司
申请人地址 :
内蒙古自治区呼和浩特市赛罕区阿木尔南街19号
代理机构 :
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
栾志超
优先权 :
CN202021213819.3
主分类号 :
B62B3/10
IPC分类号 :
B62B3/10 B62B3/04 B62D63/08
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B62
无轨陆用车辆
B62B
手动车辆,例如手推车或摇篮车;雪橇
B62B3/00
有一个以上带运输轮的车轴的手推车;其所用转向装置;所用设备
B62B3/10
以专门适用于一定形状物体的支架为特点的
法律状态
2021-04-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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