一种用于半导体晶片加工设备的取放头架
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要

本实用新型公开了一种用于半导体晶片加工设备的取放头架,设计半导体加工领域,尤其是用于半导体取放料,包括衬套支架和取放头,取放头设置在衬套支架上。并且针对现有的取放头采用导气管直接设置在滑接孔内即本申请的安装通孔内,容易产生磨损进行了改进。在本领域半导体加工分选机集合了光检、打印等多种功能,使得取放头的工作频率非常高,某些品牌更是达到了每秒十多次的频率,因此仅仅采用导气管与滑接孔的连接方式很容易因磨损导致漏气,最终使得无法完成取放料的工作。

基本信息
专利标题 :
一种用于半导体晶片加工设备的取放头架
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021238645.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-06-30
授权号 :
CN212570958U
授权日 :
2021-02-19
发明人 :
蔡庆鑫丘劭晖李奕年
申请人 :
江苏同臻智能科技有限公司
申请人地址 :
江苏省镇江市丹阳市齐梁路19号科创园原羽毛球馆
代理机构 :
江苏银创律师事务所
代理人 :
李挺
优先权 :
CN202021238645.6
主分类号 :
H01L21/683
IPC分类号 :
H01L21/683  H01L21/67  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-12-31 :
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : H01L 21/683
登记号 : Y2021330002525
登记生效日 : 20211214
出质人 : 浙江庆鑫科技有限公司
质权人 : 杭州联合农村商业银行股份有限公司海宁支行
实用新型名称 : 一种用于半导体晶片加工设备的取放头架
申请日 : 20200630
授权公告日 : 20210219
2021-05-11 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : H01L 21/683
登记生效日 : 20210427
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 江苏同臻智能科技有限公司
变更后权利人 : 浙江庆鑫科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 212300 江苏省镇江市丹阳市齐梁路19号科创园原羽毛球馆
变更后权利人 : 314419 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区芯中路8号6幢2楼
2021-02-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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