一种水平等离子清洗刻蚀箱体
授权
摘要
本实用新型公开了一种水平等离子清洗刻蚀箱体，本实用新型的水平等离子清洗刻蚀箱体通过对电极板的修改，减小了极板表面积，提高了电能利用率，未通透的隔断式处理，保证了电极板表面的平整度，保证了极板与极板的间距，以及极板与产品的间距，通透槽提高了离子体在箱体内的流动，有利于离子体对产品残胶的轰击，有效缩短了产品处理时间，提高了产品处理速率，外部稳流水分流装置，有效调节了各极板的水流速率与水流大小，使各极板来水一致，保证了极板温度的差异，一体式物料架可一次性将物料托盘整体拉出，节省了取放产品的时间，提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种水平等离子清洗刻蚀箱体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021267370.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-02
授权号 ：
CN212760127U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
刘善石
申请人 ：
昆山索坤莱机电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇玉城南路185号3号房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021267370.9
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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