一种等离子清洗刻蚀箱体
授权
摘要
本实用新型公开了一种等离子清洗刻蚀箱体，包括箱体，本实用新型通过电极板、匀水分流机构的配合，保证了电极板内水量一致，进而使箱体内极板各处温度差异最小化，有利于工艺气体的充分电离，通透性的电极板，保证了电离气体在箱体内的充分流动性，加快了产品处理效率，将电极板整体固定于箱体内，在日后维护时可快速更换整套电极板，提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子清洗刻蚀箱体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020593761.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-20
授权号 ：
CN212264048U
授权日 ：
2021-01-01
发明人 ：
刘善石
申请人 ：
昆山索坤莱机电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇玉城南路185号3号房
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020593761.3
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2021-01-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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