一种MEMS微镜装配系统
授权
摘要

本实用新型公开了一种MEMS微镜装配系统,包括工作台,所述工作台一侧设置有MEMS微镜封装结构主体,所述工作台靠近MEMS微镜封装结构主体的一侧开设有限位孔,所述工作台靠近限位孔的一侧固定连接有限位块,所述限位孔内侧壁光滑贴合有活动杆,本实用新型通过设置防尘罩与限位块、锥形板,防尘罩的设置避免吹向MEMS微镜封装结构主体的气流中带有较大颗粒的灰尘,锥形板的设置有利于风机更好的运转,限位块的设置避免橡胶软管波动幅度较大,该装置操作简单,使用效果更好,从而提升对MEMS微镜封装的封装速度。

基本信息
专利标题 :
一种MEMS微镜装配系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021399892.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-15
授权号 :
CN212781491U
授权日 :
2021-03-23
发明人 :
徐乃涛程进孙其梁李宋泽
申请人 :
无锡微视传感科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山经济技术开发区二泉东路19号
代理机构 :
北京伊诺未来知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
杨群
优先权 :
CN202021399892.4
主分类号 :
G02B26/08
IPC分类号 :
G02B26/08  H05K7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置,例如,开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2021-03-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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