一种锂离子电池基材表面镀膜机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种锂离子电池基材表面镀膜机构，包括真空箱体、升降驱动件、溅射镀膜装置，溅射镀膜装置包括支撑连接板、屏蔽罩和阴极结构，阴极结构固定连接在屏蔽罩内，支撑连接板的下方固定连接有遮挡板，遮挡板上均匀开设有多个矩形孔；水冷装置的底端与阴极结构对应，本实用新型通过设置屏蔽罩阻挡靶材向周围溅射，同时保证阴极溅射稳定和膜层厚度一致性较好，并通过设置在靶材与基材之间的遮挡板，使得通过矩形孔溅射到基材上形成的膜层形状规则，并且镀膜层宽度与矩形孔宽度相同，每条镀膜层之间均有间隙，方便后续切割和连接电极线；并且可以通过水冷装置对阴极结构进行降温，提高使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种锂离子电池基材表面镀膜机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021534177.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-29
授权号 ：
CN213113473U
授权日 ：
2021-05-04
发明人 ：
崔岸张如灏王振东王宇刘立源
申请人 ：
吉林大学;沈阳镨和真空电子设备有限公司
申请人地址 ：
吉林省长春市前进大街2699号
代理机构 ：
北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
姜海荣
优先权 ：
CN202021534177.7
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/54 C23C14/14 C23C14/16
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2021-05-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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